詳細介紹
FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導體以及介電材料超厚層的專用設備。 藉由先進的光學器件，FR-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。
典型應用包括：厚玻璃的厚度測量（厚度可達 2 毫米，透明或霧面）晶圓厚度測量（例如直徑達 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓）。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標系和極坐標結合，用于大面積的厚度測量。
硅片厚度分布圖（12英寸）
特點：
o 單擊分析（無需輸入初始預估值）
o 動態測量
o 內建700種以上不同材料
o 可安裝多個離線分析軟件
o 免費軟件更新
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